SRS CIS100 Sluten jonkälla-gasanalysator

• 100 amu system
• 1 ppm detektion
• 10 mTorr max. arbetstryck
• 1 x 10-12 Torr-detekteringsgräns
• Realtids RGA Windows-programvara
• Flerhuvudsdrift
• Fältutbytbar elektronmultiplikator och filament
• RGA och CIS-läge

Med bättre än 1 ppm detektionsgräns, direkt provtagning vid mTorr-tryck och ett användarvänligt Windows-programpaket, kommer CIS-systemen att tillfredsställa dina mest krävande applikationer. On-line processövervakning och kontroll, verifiering av processgasens renhet vid användningsstället, högvakuumanalys av restgaser och läckkontroll av processutrustning är några av de områden där dessa system kommer att visa sig oumbärliga.

Proben består av en kvadrupol masspektrometer med en CIS-jonisator monterad inuti en 2,75" Conflat® Tee. Styrenheten monteras direkt på probens genomföringsfläns och innehåller all nödvändig elektronik för att manövrera instrumentet. Sidoporten på CIS-nippeln ger en anslutning för differentialpumpsystemet som håller kvadrupolen, glödtråden och detektorn vid högvakuum. Systemet kan anslutas direkt till en processkammare genom sin standard CIS-monteringsfläns (2,75" CF). Enheten är självinställande, med en enkel, robust design. Du kan rengöra och sätta ihop sonden och byta ut glödtråden och elektronmultiplikatorn i fält, utan att någonsin ringa fabriken.